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截至5月14日收盤，光刻機概念上漲0.29%，位居概念板塊漲幅第6，板塊內，20股上漲，中船特氣20%漲停，中瓷電子漲停，美迪凱、中潤光學、旭光電子等漲幅居前，分別上漲8.01%、7.79%、7.76%。跌幅居前的有芯碁微裝、沃格光電、茂萊光學等，分別下跌6.13%、5.43%、5.16%。

今日漲跌幅居前的概念板塊

概念今日漲跌幅（%）概念今日漲跌幅（%）豬肉2.64柔性直流輸電-4.09環氧丙烷2.39Sora概念(文生視頻)-4.08養雞2.03國產航母-3.90第三代半導體0.84數字水印-3.90白酒概念0.69軍工信息化-3.86光刻機0.29智譜AI-3.83有機硅概念0.15快手概念-3.54PVDF概念0.04Web3.0-3.54NMN概念0.01ChatGPT概念-3.50舉牌-0.07AI語料-3.49

資金面上看，今日光刻機概念板塊獲主力資金凈流入3.29億元，其中，19股獲主力資金凈流入，6股主力資金凈流入超億元，凈流入資金居首的是賽微電子，今日主力資金凈流入8.14億元，凈流入資金居前的還有凱美特氣、中瓷電子、旭光電子等，主力資金分別凈流入3.07億元、2.25億元、1.82億元。

資金流入比率方面，凱美特氣、賽微電子、藍英裝備等流入比率居前，主力資金凈流入率分別為17.01%、14.41%、10.05%。（數據寶）

光刻機概念資金流入榜

代碼簡稱今日漲跌幅（%）今日換手率（%） 主力資金流量（萬元）主力資金凈流入比率（%）300456賽微電子6.3818.2381445.5814.41002549凱美特氣5.6812.9830728.5217.01003031中瓷電子10.004.9422511.728.25600353旭光電子7.7614.1018185.737.44300260新萊應材6.2717.4117904.165.76688146中船特氣20.0018.6013852.063.68301611珂瑪科技-0.6813.926607.582.72688268華特氣體3.799.426556.003.07603005晶方科技-2.677.764581.172.71603360百傲化學3.544.014571.727.47688127藍特光學3.322.963368.722.94300293藍英裝備1.184.282887.7710.05688079美迪凱8.016.612490.475.00688605先鋒精科2.3310.331702.272.09603297永新光學-0.022.361665.424.50300219鴻利智匯1.885.521400.094.44688376美埃科技0.032.811383.114.74301209聯合化學0.011.43596.814.79301568思泰克-2.677.95229.631.00301297富樂德-0.816.42-128.02-0.11002889東方嘉盛-2.411.06-160.36-4.60300786國林科技2.2613.06-270.05-0.77301095廣立微1.016.65-277.12-0.22688199久日新材-2.772.74-349.01-2.72600889*ST京化-2.080.89-396.65-8.03002816*ST和科-1.873.84-473.18-4.85688307中潤光學7.796.77-584.18-0.76300809華辰裝備-4.784.53-909.46-3.74600850電科數字-3.672.23-1120.15-3.76688010福光股份-2.742.68-1295.65-8.84300414中光防雷-3.443.60-1314.77-8.55603773沃格光電-5.4314.68-1923.67-0.69603800洪田股份-0.714.63-1930.20-3.50003043華亞智能-3.477.19-2354.00-6.51301128強瑞技術-0.715.24-2737.92-2.50301421波長光電-4.5414.59-3492.54-4.85300990同飛股份-3.225.54-3745.15-9.43600619海立股份-2.472.86-3840.60-9.47688502茂萊光學-5.164.17-5181.28-4.23603738泰晶科技-1.8915.44-6321.71-1.97688409富創精密6.333.58-7538.44-4.94300666江豐電子-3.366.61-9064.65-3.31688195騰景科技-1.785.85-12147.38-4.25688167炬光科技-2.468.73-13979.55-3.39300331蘇大維格-3.996.67-16559.59-20.68688630芯碁微裝-6.134.72-16632.78-9.72600895張江高科-4.232.67-20711.15-13.87002008大族激光0.746.40-54280.02-5.87